В Китае создали суверенный твердотельный источник света для EUV-литографов — лучше, чем у ASML
EUV-литографы компании ASML в качестве основы для источника света используют газовые лазеры CO₂. Они достаточно мощные, но при этом громоздкие и малоэффективные по сравнению с твердотельными лазерами. Твердотельные лазеры, в…